精密測量技術是工業發展的基礎和先決條件，這已被生產發展的歷史所確認。從成產發展的歷史來看，機械加工精度的提高總是與測量技術的發展水平密切相關的。因此，有人認為，材料、精密加工、精密測量與控制是現代精密工程（包括宇航）的三大支柱。對于科學技術來說，測量與控制是使其發展的促進因素，測量的精度和效率在一定程度上決定著科學技術的水平。
一、概述
隨著科學技術發展與制造業的發展，對微小尺寸的測量要求越來越迫切。從機械工業、電子工業到生物工程以及環境保護等；從尖端科學的熱核反應到日常生活中的化學纖維，都有微小尺寸測量的問題。如：制導系統的毫米級大小的軸承；機械加工中的小孔、細絲、小球面；光學加工中的鍍層厚度；計算機中磁頭——磁盤間的微小間隙等等，盡管微小尺寸測量的對象各種各樣，測量方法不盡相同，但它們共同的特點是：測量范圍小，分辨力及精度要求高，自動化程度高，難度很大。面對這樣的課題，迫切需要一些新的測量原理方法。
二、發展趨勢
1、新的物理、新材料及新技術的應用。如電子顯微鏡，超聲顯微鏡，光電技術，激光干涉技術，電視圖像分析技術，新材料及相應的涂覆工藝等；
2、利用電子計算機技術和數據處理的方法，檢驗和控制處理過程。如圓度儀、三坐標測量機等；
3、利用圖像測量與識別技術測量復雜或微小零件。如高精度大規模集成電路線寬的精密測量，航空、航天領域所需的陶瓷類微小元件的精密測量等；
4、在線測量用坐標測量機的開發與應用。如FMS線上與加工中心組成一體的坐標測量機。它主要用于判別工件的合格性，以掌握線內各機床的工作狀態，指導機床調整等工作；
5、納米測量技術的開發與應用。如精度長度、角度、定位以及表面微細形狀與表面粗糙度的測量；
6、新的測量原理的研究與應用。新的測量方法的研究是幾何量精密測量儀發展的排頭兵，其最為關鍵，難度也最大。它綜合了物理、物性、電子、電磁、材料、機械等多學科的內容，諸如CCD、SMT等都屬于創新之列；
7、各種技術的綜合應用。這些技術包括微電子技術、控制技術、數字技術、計算機技術、光電技術、新材料和精密機械等。這種綜合或集成的發展趨勢，必將促使各種技術的緊密結合與綜合應用，推動幾何量精密測量儀向更高的層次發展。排除污染品。
